Tillverkning av 720 mm Sic Assherical Mirror

3. genom polering: Grov polering förbättrar ytterligare ytråheten och ytnoggrannheten för de större bländarens SIC -asfäriska speglar. CNC små sliphuvuden används fortfarande för grov polering, och det senare steget MRF-magnetorheologologiska efterbehandling är också involverat. Efter grov polering kommer spegelytan in i interferensmetrologiet och kan komma in i SI -beläggningssteget efter att ytnoggrannhets -RMS -värdet är bättre än 1/10 λ.

4.SI-beläggning: Spegelens tomma material i en stor bländare SIC-asfärisk spegel använder ofta reaktions-SIC-material, som har något lägre densitet jämfört med tryck-pressade SiC-material. För att förbättra reflektiviteten hos den större bländaren SIC -asfärisk spegel pläteras ett skikt av Si på spegelytan för att förbättra ytdensiteten.

5.Fina polering: Efter modifiering kommer den större bländarens SIC -asfäriska spegel in i det fina poleringssteget. CNC små sliphuvuden, stress varvpolering och MRF-magnetorheologisk efterbehandling används ofta i det initiala stadiet av finpolering för att avlägsna det relativt lösa skiktet på den modifierade ytan. Senare används CNC små sliphuvuden, tillsammans med jonstråle -figurer, för att förfina ytnoggrannheten till designkraven. För närvarande kan ytnoggrannheten för större Aperture SIC-asfäriska speglar bearbetas till ett rMS-värde med full diameter bättre än 1/60 λ eller ännu bättre.

Efter flera års teknisk ackumulering har MG-Optics för närvarande förmågan att utveckla hela processen med SIC-spegel med stor övning. En uppsättning av 720 mm diameter SIC-spegel med stor apertur har slutförts med en slutlig ytnoggrannhet RMS-värde bättre än 1/60 λ.