Metall asfärisk spegelbearbetningsteknologi

Metallspeglar kan vara helt lätta utformade, och optisk-mekanisk integrationsinstallation och justering kan utformas för att förenkla strukturen på spegelns bakre stöd.

Metallmaterial erhålls vanligtvis genom gjutning. Metallmaterial har god värmeledningsförmåga, relativt stor expansionskoefficient och påverkas lätt av temperaturen. Metallmaterial har emellertid fördelarna med god bearbetningsteknik och kort upphandlingstid. Vanligtvis som vi använder i det optiska systemet är aluminium asfärisk spegel och Ni-P-legering asfärisk spegel.

De viktigaste punkterna för bearbetningsteknik ：

1.Single-punkts diamantvridning är en oumbärlig och viktig process för metallspegelbearbetning. Ultra-precision Turning Technology (STDP Technology) använder diamantvridverktyg för att utföra deterministiska materialavlägsnande på roterande metallspeglar. Efter svängningen kan ytnoggrannheten nås bättre än λ/10 (λ = 632,8 nm), och ytråheten kan vara bättre än 2nm. Som bilden nedan visar.

2. Även om metallspegeln kan få bättre ytnoggrannhet och grovhet efter att ha vridit, på grund av principen om vridning, kommer det att bli vändverktygsmärken på ytan på metallspegeln, även om det är osynligt för blotta ögat, kommer det att orsaka Vissa skador på det optiska systemet. Därför måste ytan poleras efter vridningen. Vissa metallspeglar kommer att vara belagda lager på sina ytor (såsom Be-Al-legeringsspeglar, inhemska 6061 speglar , etc.) och sedan polera efter beläggning. Som processen nedan visar.

3. Hårdheten hos metallspeglar är relativt låg och repor är enkla att förekomma på ytan under poleringsprocessen, vilket också kan påskynda ytoxidationen. Det är svårt att uppnå en god spegelyta, och en vanlig lösning är att göra metallbeläggning på ytan. Skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan spegelunderlaget och det modifierade skiktet bör beaktas för att undvika den bimetalliska effekten (efter beläggningen förändras spegelytans noggrannhet med temperaturen). Den vanligt använda metallspegelytbeläggningsprocessen är Ni-P-skikt som har enhetlig densitet och hög hårdhet. Efter polering kan högprecision ytnoggrannhet och grovhet uppnås.

4. Efter en punkts diamantvridning av metallspegeln är ytnoggrannheten och grovheten relativt hög och den kan direkt komma in i det interferometriska teststadiet. Enligt utformningen av testoptisk väg är laserinterferometern, datorgenererad hologram (CGH) och justeringsram ordnade för interferometrisk testning. Efter att ytnoggrannheten uppfyller kraven (till exempel λ1/50, λ = 632,8 nm) kan spegeln beläggas och levereras.